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廣電計量檢測集團股份有限公司

赫爾納供應德國focus蒸發(fā)器EFM 3s

參考價 15000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱赫爾納貿易(大連)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號EFM 3i
  • 所  在  地大連市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2024/6/11 15:32:26
  • 訪問次數1625
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德國赫爾納貿易公司,是一個立足德國專注于亞洲,尤其是中國和東南亞市場,經營德國高品質工業(yè)品的性技術服務以及貿易供應商。本著將歐洲的產品和技術帶到中國的理念,我們始終關注的自動化產品的發(fā)展方向,我們的技術團隊會將這些產品充分理解,介紹到中國來。德國赫爾納貿易公司已經是中德工業(yè)品互動*的一員。

赫爾納貿易(大連)有限公司是德國赫爾納貿易公司在大連設立的全資德資企業(yè),立足于有效方便的服務于中國工業(yè)客戶。我們在中國的8個省市設有銷售和服務辦事處,他們是北京,上海,成都,廣州,沈陽,長春,南京,總部大連。赫爾納貿易(大連)有限公司將為德國赫爾納貿易公司有效的服務中國客戶,做出自己的貢獻。




閥門,泵,液壓氣動,,儀器儀表,,電子電氣,,通用零部件,實驗室儀器
操作壓力 常壓 外形 螺旋管式
蒸發(fā)面積 520㎡ 重量 2kg
功率 3500kw 加工定制
結構形式 立式 外形尺寸 102*980mm
用途 工業(yè)
赫爾納供應德國focus蒸發(fā)器EFM 3s focus蒸發(fā)器EFM4具有與 EFM3相同的特性,但是用于在直徑大約50毫米的襯底上沉積。三個不同的出口孔可以使蒸發(fā)面積準確地適應樣品的大小。
赫爾納供應德國focus蒸發(fā)器EFM 3s 產品信息

赫爾納供應德國focus蒸發(fā)器EFM 3s

赫爾納供應德國focus蒸發(fā)器EFM 3s

赫爾納貿易優(yōu)勢供應,德國總部直接采購,近30年進口工業(yè)品經驗,原裝產品,為您提供一對一好的解決方案貨期穩(wěn)定

公司簡介:

"聚焦""聚焦"電子公司作為公司和擁有者的德國公司正在合作。焦點 位于哈丁斯坦,距離法蘭克福機場僅30分鐘車程。聚焦電子 其設施位于工業(yè)化的東德核心之一萊比錫市。

focus蒸發(fā)器主要產品:

focus蒸發(fā)器

focus離子源

focus蒸發(fā)器產品型號:

EFM 3i

EFM 3s

EFM 4

focus蒸發(fā)器產品特點:

EFM3EFM3的基礎上增加了一個額外的電極。在 EFM 系列的產品中,蒸發(fā)束的一部分在加熱過程中被電子轟擊電離。這些離子被通量監(jiān)測電極捕獲。

focus蒸發(fā)器產品應用:

focus蒸發(fā)器由于蒸發(fā)劑相對于接地樣品處于高電壓下,剩余的離子可能在基體表面產生缺陷并沉積能量。為了產生中性束,在 EFM3s 的抑制電極上施加一個額外的電壓。focus蒸發(fā)器附加電壓由 EVC 300EVC 100供電。

focus蒸發(fā)器EFM3i 是設計來促進層層增長的情況下,它不會自然發(fā)生。它允許控制目標材料的蒸發(fā),并同時產生離子,造成額外的表面缺陷(離子束輔助沉積,IBAD)focus蒸發(fā)器這些離子可以通過蒸發(fā)靶材的固有過程產生,也可以通過集成氣體入口的幫助從惰性氣體中產生。離子通過靜電透鏡聚焦到基片上。focus蒸發(fā)器這種聚焦透鏡可以調節(jié)目標沉積區(qū)域內離子與中性粒子的比例,從而誘導額外的缺陷密度。另外敏感的襯底材料可以通過排斥透鏡電壓來防止離子轟擊(參見 EFM3s)。用的 EVC 300i 電源不支持蒸發(fā)過程,還提供額外的透鏡電壓,包括一個樣品電流表。

focus蒸發(fā)器EFM4具有與 EFM3相同的特性,但是用于在直徑大約50毫米的襯底上沉積。三個不同的出口孔可以使蒸發(fā)面積準確地適應樣品的大小。通過選擇適當的坩堝和電子束功率,可以實現蒸發(fā)速率從每分鐘1/10單層到每秒1000多單層不等。focus蒸發(fā)器EFM 4適用于達700毫米3的坩堝容量。有效的水冷卻了低背景壓力(通常在10-10毫巴范圍內) ,使在高蒸發(fā)溫度下長時間運行。由于大的蒸發(fā)面積的目標是運行的 EFM4EVC300電源是合適的配置。

focus蒸發(fā)器基于 EFM3蒸發(fā)器的設計理念,三重蒸發(fā)器 EFM3T 具有三個獨立的單元,用于蒸發(fā)來自電線、電桿或坩堝的各種材料。focus蒸發(fā)器這三個單獨的電池在距離出口孔約93毫米處(距安裝法蘭254毫米)有交叉梁,以蒸發(fā)區(qū)域的大重疊。每個電池配備有單獨的燈絲和高壓電源,以防止串擾。三個獨立的通量監(jiān)測器能夠控制化合物的化學計量生長。整體多位置快門使劑量和同時或連續(xù)蒸發(fā)產生例如格子或多層。focus蒸發(fā)器通過可選的快門機動化和 PC 軟件工具 Multi Epitass 完成。沉積區(qū)域由三個孔中的一個孔的選擇決定。三個蒸發(fā)目標是獨立地安裝在三個25毫米 Z 偏移對準。這一功能允許蒸發(fā)棒與多口袋儀器。focus蒸發(fā)器目標材料可以很容易地從后方(3xNW16CF)填充。一個電源可以順序地操作所有三個單元。在共同蒸發(fā)的情況下,每種材料都需要一個單獨的電源。


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