產品功能
對各種產品和材料的表面平面度、粗糙度、博文度、面形輪廓、共面性、長度寬度、表面缺陷、研磨體積、磨損面積、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況等貌特征等進行測量和分析。標準型號的系統(tǒng)要求被測物體尺寸通常不大于150*100mm，更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺承載重量10Kg。
應用范圍
* 采用共焦技術，可測量平面、曲面、球面、異性面登高坡度樣品的一維、二維、三維表面微觀形貌。
* 精密機械加工、航空航天、汽車、造紙、鋼鐵、薄膜加工、半導體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。
* 機械部件的平面度、形貌特征和輪廓測量，用來確定其表面的變化情況和材料損耗；
* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析；
* 薄膜的厚度及涂層的高度測量等；
* BGA焊料球的共面性，封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析；
* 化學蝕刻產品的測量，確定蝕刻深度和面積；
* 壓花材料平面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物等；
* 對軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫(yī)學上三維表面測量分析；
* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測量；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫(yī)學上的應用，如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測量分析。
產品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產的三維非接觸式表面形貌儀儀Proscan 2100配有推力直線電機，提高了掃描速度和運行的平滑度，由于采用非接觸的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。
光學式3D表面粗糙度形貌儀Proscan 2100還配有實時機械控制軟件和Invar線性標尺（熱脹冷縮系數(shù)非常低），光學傳感器最小分辨率為5nm，可掃描間隔最小步長為0.1微米。
Proscan 2100以花崗巖為支架，是快速、精準、非接觸式的三維表面測量儀器。廣泛應用各種表面輪廓和形貌特征的精確測量和分析。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），對被測件平面的掃描最多可達800萬個數(shù)據(jù)點。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進行分析。
Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學傳感器，粗糙度最小測量范圍0-110μm，測量范圍0-50mm。
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| 實例：渦輪葉片掃描 | Proscan2100外觀 | Proscan 2100掃描頭 |
工作原理：光學色差傳感器技術
采用共焦技術，通過光纖電纜，將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃稀鞲衅黝^部配有特制的透鏡，通過色差成像，將白光轉換為其顏色分量，在被測物體表面上形成的光斑，再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過測量共焦點的波長，就可精確的測量出距離的大小。這是基于透鏡不同由于的距離聚焦不同的顏色，而在整個測量范圍內，斑點的直徑保持不變的原理。
產品特點
* 花崗巖框架結構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。
* 使用線性電機和優(yōu)質工作臺，電機與工作臺不相連，減少了噪聲振動對掃描數(shù)據(jù)的影響。
* 電機質量更輕，提高了運動工作臺的平滑度和平靜度。
* 測量速度快，每秒可達1000個數(shù)據(jù)點，分辨率達5nm。
* 傳感器采用可更換式設計，方便各種粗糙高度材料的測量。
* 非接觸式測量，不對被測物體造成劃痕磨損，更加適用于對腐蝕性材料的測量。
* 掃描范圍為150*100mm，適用于對各種尺寸產品的輪廓測量，安裝簡單。
* 矩陣式掃描方式，可對物體某個部位進行單獨掃描，亦可對不規(guī)則形狀進行測量。
* 功能強大的配套軟件，適用范圍廣，操作簡單，方便對各種掃描數(shù)據(jù)進行分析。
* 使用ProForm軟件，可對材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進行診斷和分析。
軟件特點
顯示特點
- 彩色三維或二維數(shù)據(jù)分析實時顯示
- 平面式（一維）視圖
- 自動或手動標注刻度
- 視圖方向可隨意旋轉
矩陣式掃描
- 對單個部件進行多行掃描
- 對安裝在夾具上的多個部件進行自動掃描
- 自動生成掃描結果報告
保存、回取、導出和打印
- 從硬盤中調取已保存的掃描數(shù)據(jù)
- 對兩個掃描結果進行比較，甄別出其差異
- 導出ASCII格式數(shù)據(jù)，ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)
- 彩色三維位圖
- 通過Windows打印管理器進行打印
評定參數(shù)
Am 輪廓算術平均值
Ra 輪廓算術平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微觀不平度十點高度
Rmax 輪廓高度
Rp 平均輪廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度值
Rvm 谷值深度值
R3z 算術平均第三峰谷間高度
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計數(shù)歸一
Tpi 輪廓支撐長度率
Tpa 材質率（宏）
D 峰值密度
S 輪廓單峰平均間距
Sm 輪廓微觀不平度平均間距
數(shù)據(jù)設定
- X、Y和Z三維視圖設定
- 二維X、Y平面視圖設定
- 用戶自定義三點平面修正
- 自動平面修正
- 掃面圖形可旋轉
- 共面性的計算
結果過濾
Warpage過濾器（可選）可清除表面粗糙情況，只保留輪廓。
Surface過濾器（可選）可清除表面輪廓，只保留粗糙情況。
形態(tài)測量
- 弧面的半徑計算
- 體積計算
- 表面積計算
- 截面積計算
- 臺階高度測量
- 角度計算
其他
- X、Y單獨掃描或X&Y同時掃描
- X軸掃描點數(shù)：30000
- Y軸掃描點數(shù)：30000
- X&Y軸掃描點數(shù)：800萬
- X軸掃描步長范圍：0.1μm-9.999mm
- Y軸掃描步長范圍：0.1μm-9.999mm
Proscan 2100主顯屏幕
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| BGA球柵陣列表面掃描圖 | 機械密封平面度掃描圖 |
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| 表面粗糙度掃描圖 | 薄膜材料表面形態(tài)掃描圖 |
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| 孔端面的平面度掃描圖 | 截面二維輪廓圖 |
技術規(guī)范
X軸（長）
- 掃描的長度范圍150mm
- 線性編碼器分辨率：20nm
- 最小掃描步長：0.1μm
- 掃描速度：1000點/秒
- 導軌：精密交叉式輥軸
- 線性度：25mm行程范圍內0.5μm
- 定位精度：40nm
- 負載：5kg
- 線性電機：非接觸式驅動
Y軸（寬）
- 掃描的寬度范圍100mm
- 線性編碼器分辨率：20nm
- 最小掃描步長：0.1μm
- 掃描速度：1000點/秒
- 導軌：精密交叉式輥軸
- 線性度：25mm行程范圍內0.5μm
- 定位精度：40nm
- 負載：4kg
- 線性電機：非接觸式驅動
Z軸（高）
- 樣品高度：150mm
- 測量范圍和分辨率等參數(shù)見傳感器選型方案
- 根據(jù)被測物體大小，手動定位傳感器的高度
產品尺寸
- 尺寸：740*542*838mm （長*寬*高），重量：79kg
電源
100-110/220或240VAC，50/60Hz
傳感器選型方案
| 傳感器 型號 | 測量范圍 (點差) | 傳感器距測量范圍中間點距離mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術 原理 |
| S3/011 | 110 μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S11/03 | 300 μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S16/2.5 | 2.5 mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S29/10 | 10 mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S20/20 | 20 mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | CCD三角測量技術 |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
各種可選項
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 花崗巖橫梁，用于Proscan安裝；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對不容易進入的區(qū)域或對表面測量有困難的產品的表面特征復制；
* 比標準配置中的X和Y測量范圍更大的應用平臺。
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